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レジスト液・現状液のパーティクル対策

レジスト液精密オールオレフィン中空糸膜フィルター

オールオレフィン製の中空糸膜により耐薬品性や精度や寿命が高くレスポンスが

良好な次世代型レジスト濾過用フィルターです。

　　　　　小型ポリフィックス　　　　　　　　　　　　　ＦＯＦ５０　　　　　　　　　　　ＦＯＦ７０

　特徴

　・ポリプロピレンとポリエチレンで構成された精密濾過フィルターです。

　・コンパクトで、かつ大濾過面積です。

　・ポンプの圧力応答性が良好です。

　・滞留によるゲル化が生じ難く、フィルターの交換頻度が減少します。

　用途

　・フォトレジスト、現像液、シンナー、純水、無機化学薬品の濾過に適します。

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