アイ・イー・サービス株式会社 〒145-0062 東京都大田区北千束1-13-10 TEL.03-5731-2511　FAX.03-5731-2513 E-mail　maki@ie-service.co.jp

半導体製造設備

半導体の設備に必要な装置・製品をご紹介致します。

１、気体濾過製品

　・空気、プロセスガス中の微粒子を除去します。 ・空気から窒素ガスを取り出します。

エアーガン	エアーフィルタ	ガスラインフィルター	排気フィルター	窒素発生装置

排気フィルター：焼結タイプ　中空糸タイプをご紹介します。　

詳細は、上記製品名（青字のみ）をクリックしてください。

２、液体濾過製品

    超純水〜レジスト液の精密濾過を行います。

　詳細は、上記製品名（青字のみ）をクリックして下さい。

３､純水設備製品　　

　　超純水製造装置から装置洗浄用ウォーターガン（スプレーガン）まで、 超純水に関係する製品

４、静電気対策製品

　　微粒子は静電気を帯びやすく、基盤に付着しやすいため、イオナイザーを使用してイオン

　　化空気を発生させ帯電除去を行い、微粒子を取り除きます。

ファンタイプイオナイザー　　　ガンタイプイオナイザー

　　詳細は、上記製品名（青字のみ）をクリックしてください。　

５、半導体・液晶分野向けオゾン水システム

　　オゾン水製造 装置

　　詳細はお問い合わせ下さい。

　　フッ素樹脂製継手からステンレス容器まで取り扱います。
　　特殊ステンレス容器：電解研磨品の特注はご相談ください。
　

　　　　　テフロン継手　　　　　ステンレス容器