アイ・イー・サービス株式会社
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半導体製造設備

半導体の設備に必要な装置・製品をご紹介致します。

1、気体濾過製品

 ・空気、プロセスガス中の微粒子を除去します。 ・空気から窒素ガスを取り出します。

エアーガン エアーフィルタ ガスラインフィルター  排気フィルター

窒素発生装置

排気フィルター:焼結タイプ 中空糸タイプをご紹介します。 

詳細は、上記製品名(青字のみ)をクリックしてください。

2、液体濾過製品

    超純水〜レジスト液の精密濾過を行います。

レジスト液精密オールオレフィン中空糸膜フィルタ

 

精密 濾過膜 

 

限外濾過膜 

 

 詳細は、上記製品名(青字のみ)をクリックして下さい。

 

3、純水設備製品  

  超純水製造装置から装置洗浄用ウォーターガン(スプレーガン)まで、 超純水に関係する製品

RO膜型超純水装置

イオン交換型純水器 

ウォーターガン

帯電防止装置(新発売)    水処理濾過システム  純水製造装置

 

4、静電気対策製品

  微粒子は静電気を帯びやすく、基盤に付着しやすいため、イオナイザーを使用してイオン

  化空気を発生させ帯電除去を行い、微粒子を取り除きます。

  

ファンタイプイオナイザー   ガンタイプイオナイザー

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5、半導体・液晶分野向けオゾン水システム

  オゾン水製造 装置

6、クリーンブース等の清浄設備関連製品

  クリーン環境設備を紹介します。

  「クリーンブース」 「エアーシャワー」 「パスボックス」 「恒温恒室器

    「リリーフダンパー」 「フィルタユニット

  詳細はお問い合わせ下さい。

 

  フッ素樹脂製継手からステンレス容器まで取り扱います。
  特殊ステンレス容器:電解研磨品の特注はご相談ください。
 

  

     テフロン継手     ステンレス容器