アイ・イー・サービス株式会社
〒145-0062 東京都大田区北千束1-13-10
TEL.03-5731-2511 FAX.03-5731-2513
E-mail maki@ie-service.co.jp

小型・軽量・高性能・半導体電子液晶分野用

クリーンルーム用エアーガン

 環境にやさしい精密フィルターによりクリーン度の維持

 ろ過精度: 0.01μmの微粒子も捕捉する中空糸フィルター搭載したクリーンルーム用エアーガン

                                                             

                                                             

仕様

使用流体
圧縮空気、窒素
最高使用圧力
0.4MPa
使用温度範囲
5℃以上 50℃未満
中空糸膜フィルタ膜面積
80cm2

内部状況

オイルフリー

接続

ワンタッチジョイント(カプラ)
ろ過精度(パーティクル)
0.01μm
質量
エアーガン 120g
交換カートリッジ 11.5g
コイルホース 260g
ソケット 26g

 

製品記号  CAGN−14 

 ・精密計測機器、分析機器、半導体製造 

 ・圧縮空気、N2ブロー用 半導体洗浄槽内、プリント基板洗浄
  精密機械、電子部品洗浄

 ・印刷、塗装機器および一般工具

 ・医科、歯科、食品機械
                                                             

本体が耐薬品性が高いポリプロピレンになりました。

詳細、特注についてはお問い合わせください。

「半導体設備」 に戻る

「フィルター選択ガイド」 に戻る

「フィルタ関連使用実例集1」 に戻る