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中空糸利用した

帯電防止装置

半導体製造に欠かせない超純水中に、炭酸ガス（ＣＯ２）を効率よく注入し、純水洗浄後に、

基盤等の帯電防止を行い、ゴミ異物の付着を防ぎます。

注入原理

・中空糸膜の内部に超純水を流し外側には炭酸ガスを封入し、膜を介して超純水と炭酸ガ

スを接触させ、超純水中炭酸ガスを溶解させます。

特徴

・炭酸ガスを、膜を介することで無駄なく超純水中に注入できます。

・半導体製造に適したクリーンな状況を維持します。

使用方法、純水使用量および流量等お知らせください。

使用に合わせた装置をご紹介します。

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