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レジスト用

低溶出物中空糸膜型フィルター

中空糸膜を固定しているポッティング材がポリウレタンからポリオレフィンになりました。

　なぜ低溶出か

　　ポリウレタンやエポキシポッティング材では、２液混合の反応により固める為、

　　反応しない成分が溶出してきます。

　　溶出してきます。そこで熱可塑性樹脂のポリオレフィンに変更するこ とにより、溶出物

　　を大幅に減少できました。

　用途

　　・フォトレジスト　　・現像液　　　・純水　　　・薬品・有機溶媒

　　各種精密な製膜液のろ過

　　溶出物を嫌う液体のろ過

　ろ過精度

　　０．１μｍ　　０．０５μｍ　　０．０２μｍ

詳細はお問い合わせください。

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