脱気モジュール

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中空糸脱気モジュール（給気モジュール）

新発売：オールフッ素樹脂小型脱気モジュール

（薬品・レジスト液等の微量液体の脱気に最適）

中空糸膜脱気モジュール（内部灌流方式（PF-Fシリーズ））

１，脱気給気技術

液体中から溶存ガスを取り除く技術です。例えば中空糸膜の内側に水を流すと、中空糸膜の水への溶解度は

気体の圧力に依存しているので、低圧になると気体は水に溶解できずに中空糸膜の外側に出てきます。

気体を高圧にすることにより、水への溶解量は増加します。

中空糸膜の内側を通過した水は溶存ガスの少ない水になっています。使用する中空糸膜は微細孔を持つ素材

のため液体は通過せず、気体のみ通過します。（ゴアテックスと同じ原理）

２、脱気モジュール模式図

３，脱気性能
一般に室温の水は８ｐｐｍの酸素が溶解しています。これを２００torrに減圧すると、２ｐｐｍ程度にまた５０torr以下に

減圧すると１ｐｐｍ以下に酸素の溶解度を低下させる事ができます。

４，用途

・ボイラー水の脱気

　ボイラーの錆を防ぎます。

・農業用水

　根部障害の病気予防になります。

・精密洗浄用水の製造

　マイクロバブルによる超音波洗浄効果の低下を防ぎます。

・水道配管のサビ防止

　水道配管を錆から守ります。

・現像液・レジスト液

　半導体用各種溶液からの気泡除去

・インクジェット液

　インクからの気泡除去